方正证券：扩产景气叠加协同创新 坚定看好半导体上游环节

智通财经APP获悉，方正证券发布研报称，全球半导体设备支出加速增长，设备及零部件需求走强;新建产线逐步转入运营，材料需求同步释放。先进设备与工艺获取受限，本土晶圆厂难以照搬海外龙头路径，转而从新结构、新工艺、新材料等维度推进创新，更依赖材料、设备、零部件与工艺间的协同优化。这为国产供应链参与联合开发、验证和迭代创造更多机会，既拓展国产替代空间，也在共同定义工艺、深度绑定产线中增强客户黏性。

方正证券主要观点如下：

设备

芯片性能提升从平面制程微缩转向三维结构创新，刻蚀、薄膜、CMP、键合、清洗、量检测等设备重要性显著提升，具备协同开发能力的国产厂商有望获得结构性增量。高端工艺能力与成套解决方案的平台能力正成为核心竞争力。国产设备已在成熟制程、特色工艺实现规模化应用，主工艺设备基本具备28—14nm能力，并向7—5nm推进，先进制程国产替代攻坚成为主线。晶圆厂对一站式工艺解决方案和全流程设备协同需求提升，头部厂商正推进平台化战略，整合多品类装备、工艺支持与服务保障，提供确保效率、良率与稳定性的整体方案。

零部件

下游扩产已向零部件端传导，设备厂提前锁定供应并增加关键零部件备货，而零部件新增产能释放尚需周期，供需趋紧。据臻宝科技公告，国内主流代工厂日常领用零部件超2000种，国产占有率仅约8%，美日分别为59.7%和26.7%。国产零部件已在部分环节突破，但静电卡盘、射频电源、质量流量控制器、真空泵等高端产品仍处国产化初期，制程越先进自主可控程度越低。全球供应趋紧放大结构性短板，海外厂商优先保障海外头部大厂，国产设备厂物料紧缺更突出，供给缺口倒逼本土配套加速验证导入。本土设备厂与晶圆厂正加快导入国产零部件，零部件厂商亦从新设备研发阶段切入协同设计，由“替代”转向“协同创新”，逐步向高端渗透。

材料

材料需求与晶圆厂产能及稼动率高度绑定。中芯、华虹、长鑫、长存等本土晶圆厂处于满载运行与加速扩产共振阶段。存量高稼动率决定单位时间消耗强度，新建产能释放拓宽中长期空间，材料需求确定性强。材料供给格局切换慢于需求扩张，种类多、单一成本占比低但影响良率与可靠性，晶圆厂更换供应商意愿低，验证周期长、份额爬坡渐进，部分品类还受专用供应系统物理绑定约束。扩产增量优先流向已进入头部晶圆厂供应体系、实现批量稳定供货的厂商;具备多品类覆盖或单品深度渗透能力的企业有望率先承接新建产线增量，份额提升快于行业整体量增。

建议关注：设备：华海清科、微导纳米、中科飞测、北方华创、芯源微、屹唐股份、中微公司、拓荆科技等。零部件：富创精密、高凯技术、超纯应材、珂玛科技、臻宝科技等。材料：雅克科技、江丰电子、兴福电子、艾森股份、鼎龙股份、沪硅产业、安集科技等。

风险提示：下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，系统性风险等。